晶圆机器人 EFEM 寻边器及其它
12寸Wafer Sorter EFEM
规格说明 文件
· 模组化机架,可依照客户需求调整配置方式
· 符合国际半导体设备SEMI 安全规范
· 符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
· 多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态
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