6-8寸Wafer Sorter EFEM_EFEM_威尔沃（苏州）智能装备有限公司

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晶圆机器人 EFEM 寻边器及其它

6-8寸Wafer Sorter EFEM

晶圆移载系统(EFEM)是完整的自动化系统，通过垂直整合，搭配自行研发之控制系统，能弹性选配Wafer ID读取、晶舟盒RFID感应、晶圆寻边校正、凸片检知、站点在席感测等周边配件进行规划，并依产品规格搭配对应款式之晶圆机器人，有效针对不同制程及应用的客户，提供客制化的服务，使客户的设备和制程更有效率及竞争力。

规格说明